99.5٪ خالصیت بالا PSA ژنراتور اکسیژن برای تولید نیمه هادی

ژنراتور اکسیژن PSA(ژنراتور اکسیژن تحت فشار) یک تجهیزات تمیز کلیدی در صنعت تولید نیمه هادی است.آن را با استفاده از سیب های مولکولی دو لایه (سیب های مولکولی معمولی + سیب های مولکولی با خلوص بالا) برای تولید اکسیژن با غلظت بالاتر از 99 درجه به طور عمیق تصفیه می کند..۵ درصد

مزایای اصلی آن مانند خلوص پایدار، پاکیزی بالا، عملکرد قابل اعتماد و انتشار آلودگی صفر است.که می تواند الزامات سختگیرانه برای خلوص و تمیز بودن اکسیژن را در فرآیندهایی مانند اکسیداسیون و رسوب فیلم نازک در طول تولید نیمه هادی برآورده کند. به عنوان پیکربندی سطح بالا برایپاکت اکسیژن گیاه psa، تمام ناخالصی ها (نیترژن، رطوبت، دی اکسید کربن و غیره) در اکسیژن تولید شده توسط این تجهیزات تحت سطح ppm کنترل می شوند،جلوگیری از کاهش تولید تراشه ناشی از پاکیزه اکسیژن ناکافیاین یک تجهیزات اکسیژن ضروری برای تولید نیمه هادی است.

تولید نیمه هادی نشان دهنده اوج تولید دقیق است، با فرآیندهای تراشه ای که به مقیاس نانومتری (5nm، 3nm) وارد شده اند. هر ناخالصی کوچک ممکن است باعث اتصال کوتاه تراشه شود،کاهش عملکرداکسیژن عمدتاً در فرآیندهای اصلی مانند اکسیداسیون (تشکیل لایه های عایق SiO2) و رسوب بخار شیمیایی (CVD) در تولید نیمه هادی استفاده می شود.خلوص اکسیژن به طور مستقیم بر یکنواخت ضخامت لایه عایق تاثیر می گذارد، چسبندگی فیلم و عملکرد الکتریکی تراشه.

اکسیژن معمولی درجه صنعتی (93٪ خلوص) حاوی ناخالصی هایی مانند نیتروژن و رطوبت است که می تواند نقص هایی را در سطح تراشه ایجاد کند و منجر به کاهش 10-20٪ در بهره شود؛ در مقابل، 99.اکسیژن 5٪ با خلوص بالا می تواند محتوای ناخالصی را زیر سطح ppm کنترل کند، به طور موثر از ایجاد نقص جلوگیری می کند و اطمینان حاصل می کند که عملکرد تراشه بیش از 90٪ ثابت است.ژنراتور اکسیژن PSAمی تواند ناخالصی هایی مانند نیتروژن، رطوبت و دی اکسید کربن را از هوا به شدت حذف کند.پاکت اکسیژن گیاه psaدقت کنترل بسیار بیشتر از تجهیزات تولید اکسیژن سنتی است و به طور کامل نیازهای فرآیند تولید نیمه هادی را برآورده می کند.

علاوه بر این، تولید نیمه هادی دارای الزامات بسیار بالایی برای تمیز بودن اکسیژن است. گاز خروجی باید طبقه بندی اتاق تمیز کلاس 100 را برآورده کند (حداقل 100 ذره ≥ 0.5μm در هر فوت مکعب هوا).ژنراتور اکسیژن PSAمجهز به یک سیستم تصفیه گاز با کارایی بالا است که می تواند ذرات کوچک را در اکسیژن فیلتر کند، از آلودگی ذرات در سطح تراشه جلوگیری کند و کیفیت تراشه را بیشتر تضمین کند.

هنگام خریدژنراتور اکسیژن PSA، شرکت های نیمه هادی باید به چهار اصل اصلی پایبند باشند: "خالصیت واجد شرایط، سازگاری اتاق تمیز، ثبات و قابلیت اطمینان و صلاحیت کامل تامین کنندگان".

• از نظر خلوص، انتخاب تجهیزات با خلوص اکسیژن ≥99.5٪ و محتوای ناخالصی که الزامات فرآیند نیمه هادی را برآورده می کند، ضروری است.و از تامین کنندگان می خواهند گزارش های آزمایش شخص ثالث (مانند SGS) را ارائه دهند.، ITS)
• از نظر سازگاری با اتاق تمیز، لازم است تأیید شود که تمیز بودن گاز خروجی تجهیزات ≥ کلاس 100 است و پوشش تجهیزات با الزامات نصب اتاق تمیز مطابقت دارد.
• از نظر ثبات و قابلیت اطمینان، اولویت باید به محصولات با زمان کار مداوم ≥8000 ساعت در سال و گارانتی برای اجزای اصلی ≥3 سال داده شود
• مهارت های تامین کنندگان بسیار مهم است.کارخانه اکسیژن مبتنی بر PSAمدارک تولید، گواهینامه سیستم مدیریت کیفیت ISO9001 و گواهینامه های مربوطه صنعت نیمه هادی (مانند گواهینامه SEMI) ،و از آن ها می خواهیم که موارد موفقیت آمیز در صنعت نیمه هادی را ارائه دهند.

خدمات پس از فروش باید نیازهای بالا صنعت نیمه هادی را برآورده کند. تامین کنندگان باید بتوانند پشتیبانی فنی 24/7، تعمیرات منظم در محل،و تامین سریع قطعات جایگزین برای اطمینان از عملکرد پایدار دراز مدت تجهیزات.

با مزایای خالصیت بالای 99.5 درصد،ژنراتور اکسیژن PSAتبدیل به یک معیار برای تامین اکسیژن پاک در تولید نیمه هادی شده است. کنترل دقیق خلوص، تولید گاز پاک،و عملکرد عملیاتی پایدار می تواند پشتیبانی قابل اعتماد از اکسیژن برای فرآیندهای نیمه هادی را فراهم کند، که آن را به یک تجهیزات کلیدی برای شرکت های تولید تراشه برای بهبود بهره وری و کاهش هزینه ها تبدیل می کند.